電容式傳感器的輸出電壓和輸入功率是F作為一種力量，是檢測之間的關係;KS，KC和Ku無力的位移，位移的電容器，電容器的輸出電壓比例係數;U為傳感器的輸出電壓。很顯然，在力的位移，位移的電容，電容的輸出電壓的每個環節的過程中，傳感器的結果受到影響。電容檢測電路的線性度很容易得到保證，即，庫是恒定的，所以影響傳感器的線性度的主要因素是力-位移和位移-電容轉換過程的非線性。

　　一種常見的電容式力傳感器的結構是0的靜態頻率檢測，傳感器位移x和測力是x =法之間的關係。一般的彈簧的設計是線性的，即KS不隨位移的變化而變化，是恒定的，在轉換過程中的位移的力是完全線性的，對傳感器的非線性整體沒有貢獻。改變電容器的電容有兩種方法。可變區的線性度較好，但在相同位移下的電容變化較小。

　　力和位移之間的線性關係是影響傳感器線性度的又一主要因素，通常是為了提高傳感器的線性度而設計的。但考慮到非線性結構的位移與電容之間的關係，其力與位移之間的比例隨位移的絕對值的增大而減小，並在一定程度上抵消了非線性和改善力與電容的線性關係。

　　通過選取結構的寬度、受力和位移的非線性特性以及在一定範圍內的位移和位移的差異，從而提高了傳感器的線性度。